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はじめに |
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半導体分野特別仕様シリーズとは、高濃度オゾンガスを発生するＨシリーズ装置と、そのオゾンガスをオゾン水に変換するOWUCS装置を |
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組み合わせ、半導体分野専門に開発された特別ユニットです。 |
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| 左：OWUCS |
右：Hシリーズ |
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OWUCS-Hユニット性能曲線 |
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Hシリーズ |
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H-200 / H-400 性能曲線 |
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H-200 / H-400 図面 |
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H-200 / H-400 仕様一覧 |
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*下記オゾン発生量は原料ガスが半導体グレード酸素の場合
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OWUCS |
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OWUCS 配管系統図 |
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OWUCS 内部構造図 |
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OWUCS 仕様 |
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